洁净室（系统）知识汇总（二）

五、洁净室净化空调系统的节能

（一）洁净室的空调负荷

洁净室的净化空调负荷由下面几部分组成：

1、室内负荷

（1）室内作业人员的散热、散湿负荷。

（2）室内照明灯具的散热负荷。

（3）洁净室围护结构（墙、顶、地、门、窗）的传热、传湿负荷。

（4）生产设备和生产过程的散热、散湿负荷。

2、洁净室新风处理的热、湿负荷。夏季是降温去湿；冬季是加热、加湿。

3、空气循环时风机（或FFU）的温升和水泵的温升负荷。

4、洁净室的空调负荷特点

（1）高级别洁净室（100级，10级，1级）是垂直单向流洁净室，其送风机的风量非常大，高达400~500次/h换气，而且风机的压头也很高，一般多在1000~1500Pa，因此风机温升的负荷大。按理论计算：在集中送风方式的系统中，风机的温升为1.5℃，仅此一项的负荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送风方式，风机温升的负荷也要250~350 W/m2。因此，风机温升的负荷大是其一个负荷特点。

（2）服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10~20次/h换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。

（3）生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高级别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。

（4）围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业人员的发热这三项负荷相对比较小，三项负荷之和还不足总空调负荷的10%（其中：照明负荷大约25~30 W/m2；围护结构负荷大约20~30W/m2；作业人员负荷大约10~15 W/m2），这是高级别洁净室第四个负荷特点。

（二）洁净室空调净化系统的节能措施

洁净室的空调净化系统节能，应首先从分析其空调负荷特点入手，抓住空调负荷中的主要矛盾，才能事半功倍。从前面可知，高级别洁净室空调负荷中占90%以上的负荷是：新风负荷、风机温升负荷和工艺设备和工艺过程负荷三项。这是它的主要矛盾。

1、降低新风空调负荷的节能措施

（1）减少排风量。改进工艺和工艺设备，尽可能不排风，少排风。采取密闭式排风罩在同等的排风效果下尽量减少排风量。

（2）减少正压漏风量。加强洁净室围护结构的密封性，既能保持洁净室必要的正压值，又可减少所需的正压漏风量。

（3）提高新风空气处理设备的效率。

（三）降低风机温升负荷的节能措施

1、在确保洁净室洁净度的前提下，尽量减少送风量，尽量用局部高净化来替代全面高净化。

2、加强空调设备和空调系统的密闭性，减少漏风量。